از تشکیلات اداری اوقاف در دوره صفاریان (245-290ه.) که اولین سلسله حکومت ایرانیان پس از اسلام بوده است، اطلاع دقیقی در دست نیست ،ولی در تشکیلات اداری دوره سامانیان ( 261-389ه.) از دیوان موقوفات و یا دیوان اوقاف نام برده شده که به کار مساجد و اراضی موقوفه رسیدگی می کرده است.قبل از ایجاد دیوان اوقاف وظیفه اداره اوقاف به عهده قضات بوده است. در دوران صفویان ، امور اوقاف در ایران به روحانیون مورد نظر حکومت واگذار می گردید و متصدی این مقام به نام صدرالصدور ، وزیر اوقاف و مستوفی موقوفات خوانده می شد.