ایجاد یک شهرک یا پارک تحقیقاتی در استان یزد از سال 1365 با توجه به موقعیت خاص استان و مجموعه توانمندیهای سخت افزاری و نرم افزاری موجود در دستور کار مدیریت عالی استان قرار گرفت . در سال 1367 طرح جامع دانشگاه یزد تهیه گردید که در آن برای اولین بار در کشور بخشی به عنوان پارک صنعتی با مساحت حدود 25 هکتار در نظر گرفته شد . در سال 1378 مطالعات مقدماتی آغاز شد و نتیجه آن در قالب یک طرح توجیهی به وزارت علوم ، تحقیقات و فناوری ارائه گردید.